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国产28nm光刻机将上市,透镜所用的光学玻璃是个难题

发布日期:2022/5/11 13:40:33 浏览:207

国产28nm光刻机将上市,透镜所用的光学玻璃是个难题

说起光刻机的透镜系统和反光系统,我们就不得不提到德国的卡尔.蔡司公司,这家百年老店实际是个手艺人,他们能把玻璃打磨工作做到极致,真正为蔡老司机提供材料的是德国老牌玻璃公司——肖特公司,而肖特公司是卡尔.蔡司的全资公司。

在特种光学玻璃行业上,我们最熟悉的是美国的康宁公司,它的大猩猩玻璃随着手机的广泛应用而变得家喻户晓。

但是,在世界四大玻璃生产商德国肖特、日本旭硝子、法国圣戈班和美国康宁当中,最老牌还数肖特。

肖特于1884年由恩斯特·阿贝和奥托·肖特在耶拿创建,用于测定玻璃折射率的仪器就叫做阿贝折光仪,而用于划分无色玻璃牌号的折射率nd与色散系数ν的关系图像叫做阿贝图。

这是肖特公司的一张阿贝图

虽然古埃及和中国战国时期就能制造玻璃,但是,一直到十六世纪牛顿、伽利略时代,作为重要光学材料的玻璃消色差都是严重的问题。1729年英国人C.M.霍尔在玻璃中引入氧化铅才利用一块凸透镜和一块凹透镜组合成了第一对消色差透镜组,这也是相机镜头和光刻机透镜系统是一组镜片而不是一块的原因之一。

一战前夕,德国为了发展军用光学仪器(说白了主要是望远镜),著名物理学家阿贝加入了肖特工厂,他在玻璃中加入了新氧化物BaO、B2O3、ZnO、P2O3等,发展出了钡冕、硼冕、锌冕等类型玻璃,并试制了具特殊相对部分色散的燧石玻璃,从而使得光学玻璃品种有了很大扩展,出现了较完整的相机镜头和显微镜物镜。

从这一时期开始,光学玻璃变成了具有军事战略意义的物资,据说二战时期,美国为了阻止德国向日本供应光学玻璃,花大力气击沉了德国一艘运送光学玻璃的潜艇。

正因为光学玻璃在科学仪器和军事仪器上的重要作用,光学玻璃的制造技术一直是列强们保密的核心技术。美国在一战后不知道哪来的制造技术,其资料属于内部作品,而苏联玻璃界前辈加察罗夫写的光学玻璃一书也是内部机密。

新中国成立之后,我国所谓的光学玻璃只有继承自蒋先生的昆明光学仪器厂,这个当年中国技术水平首屈一指的制造厂,仅能生产低倍率的光学望远镜和极简单的测距仪。

王大珩

1950年,钱三强找到王大珩,问他的第一句话是:“大珩,还想光学玻璃吗?”

当时,王大珩就愣了一下。因为早年王大珩赴英国伦敦帝国理工学院攻读应用光学,后来在著名玻璃学家特纳(W.E.S.Turner)教授指导下进行有关光学玻璃的研究。1948满怀科技强国梦的王大珩,回国发现新中国百废待兴,到处需要花钱,要做基础研究可以说很难具备条件。当钱三强提出他做梦都想做的事时,一时都愣了。

很快,在钱三强的推荐下,王大珩开始在长春筹建中国科学院仪器馆,并担任馆长。当时东北人民政府非常豪爽的批了仪器馆40万元专款。

40万元什么概念?前些时间我看电视《特赦1959》,那时功德林所长王英光一个月的工资是3块钱!

王大珩邀请大他10岁的清华师兄龚祖同共同研制光学玻璃。

龚祖同在清华毕业之后曾去德国留学4年,在柏林工业大学攻读应用光学,而他解放前也曾为发展中国光学事业四处奔波,从昆明到贵阳,从秦皇岛到上海,整整奔波了十年,吃了无数苦头却一事无成。

王大珩看出龚祖同对国家和事业有着极强的责任心,诚心邀请他来长春担任仪器馆光学玻璃实验室主任,而龚祖同欣然应允,并举家北迁到长春。

王大珩将他英国十多年的经验和研究出来的光学玻璃配方一并交给了龚祖同。1951年春,龚祖同带领一批提前从大学毕业的学生,从设计试制车间到厂房建造,所有人亲自搬砖搞建设。

1952年,仪器馆制造出300L大坩埚,10月开始烤炉,坩埚经历几次开裂而遭受失败。有时坩埚加热到1400℃破裂,大家在高温中取出坩埚,清除玻璃液的场面十分感人。就这样夜以继日,1953年的阴历除夕,终于获得了一大坩埚300L的光学K-8玻璃。

图中(上左)1952年中科院仪器馆光学玻璃试制车间;(上右)光学玻璃出炉浇注;(下)第一埚光学玻璃。

中国第一炉光学玻璃的诞生结束了我国没有光学玻璃的历史,为新中国光学事业的发展奠定了基础。

之后,中科院仪器馆改名为长春光学精密机械仪器研究所,王大珩带领大家研制出高精光学仪器和光学玻璃的“八大件一个汤”。

“八大件”是指1秒精度大地测量经纬仪、1微米精度万能工具显微镜、大型石英摄谱仪、中型电子显微镜、中子晶体谱仪、地形测量用多倍航摄投影仪、光电测距仪和高温金相显微镜,“一个汤”是指融化态光学玻璃。

1961年光机所研制出中国第一台红宝石激光器,也仅比世界第一台红宝石激光器晚了10个月。

王大珩等人研制出的各项光学设备用于我国军事各个领域,从水下的潜艇到外太空的卫星上,为我国国防事业做出了巨大的贡献。

1986年,王大珩和王淦昌等人提出发展高科技的建议(即863计划),1992年促成成立中国工程院,1985年获国家科技进步奖特等奖,1999年获两弹一星功勋奖章。

然而,我国光学玻璃虽然第一个在光学玻璃中加入稀土,但是光学玻璃中几乎用到了元素周期表中所有元素,非常之复杂,在民用方面我国光学玻璃企业还与前面四大巨头有极大的差距。

革命尚未成功,同志仍须努力!

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